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因氦氣的分子非常小，可偵測(cè)出非常小之漏點(diǎn)，如果說保壓測(cè)試是測(cè)大漏，氦測(cè)漏則是測(cè)小漏，在莊達(dá)人所著的VLSI制造技術(shù)一書中提到（氣體管路的漏率在每秒10E-9CC才可以送氣）如此才不會(huì)造成危險(xiǎn)。