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顆粒度檢測

產(chǎn)品描述：

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particle在半導(dǎo)體廠中是不良率禍首之一，尤其在現(xiàn)在的制程越來越小的情況下，如管路中含有過多的particle，對生產(chǎn)加工的良率影響很大

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